扫描探针显微镜(SPM)是利用细微的探针，在样品表面扫描，进行高放大倍率观察三维形貌的显微镜。SPM-9600是以快速观察，操作简单而拥有优良声誉的新一代SPM

测定模式 标准：接触、动态、相位
选配模式：力调制模式、电流模式、磁力（MFM）模式、表面电位模式（KFM）、水平力模式（LFM）
分辨率 水平0.2nm　垂直0.01nm
zei大扫描范围（X/Y/Z） 30μm×30μm×5μm（标准）
125μm×125μm×7μm（选配）
55μm×55μm×13μm（选配）
zei大样品形状 24mm×8mm
样品装载方式 头部滑动机构
分束器滑动机构 内置在AFM头内 
■ 设置室的环境 　
设置室理想的空调条件如下。 　
温度　23°±5℃ 　
湿度　60%以下
■ 电源
运行本装置需要如下电源。 　
单相 100V-120V　50/60Hz　10A　1路
接地　第3种地线
■ 装置的尺寸和重量
SPM单元 W180×D255×H260mm 5.5kg
控制单元 W250×D420×H454mm 18.5kg

· 清晰的观察图像
SPM-9600在基本观察功能的基础上融入了更强的测量功能，具备了卓越的信号处理功能，再加上zei新研发的VBDF(Variable Bandwidth Digital Filter)功能，数字处理能力比同类产品提高40%，可得到更高分辨率，更高质量的观察图像。SPM-9600是一种全新的换代产品。
· 丰富的检测模式
标准配置模式包括接触，动态和位相三种模式。
扩展模式包括：力调制、侧向力，磁力（MFM）、电流、表面电势（KFM）等检测模式，并能和纳米压痕仪与Q调制系统联用，可以轻松地升级到可控气氛模式。无论是初学者还是专家都可轻松使用。
· 简便快捷的操作
SPM-9600的操作界面简明易懂。软件的自动化功能帮助用户都能轻松操作。并具备防振动、噪声的结构，可不受外界干扰，快速地观察各种样品。
· 可扩展到控制气氛SPM
通过追加选配件控制气氛腔，可升级到控制气氛型扫描探针显微镜WET-SPM系列。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途