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安捷伦科技（中国）有限公司
CS300系列产品特点：
1. 与气体接触的零件表面经过电化学抛光处理，粗糙度达到Ra 5μinch。
2. 与气体接触的零件表面化学成分：Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）。
3. 具有压力补偿功能。
4. 支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS气路系统
| 类号 | CS310C | CS320C | ||
| 阀类型 | Normally Closed or Normally Open | No Valve | Normally Closed or Normally Open | No Valve |
| 流量规格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM | |||
| 准确度 | ±1% S.P. (≥35% F.S.)±0.35% F.S. (＜35% F.S.) | ±0.80% S.P. (≥30% F.S.)±0.24% F.S. (＜30% F.S.) | ||
| 线性 | ±0.5% F.S. | |||
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | |||
| 响应时间 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||
| 工作压差范围 | (0.05～0.35)Mpa(≤10SLM)(0.1～0.35)MPa (＞10SLM) | ＜0.02 MPa | (0.05～0.35)Mpa(≤10SLM)(0.1～0.35)MPa (＞10SLM) | ＜0.02 MPa |
| 温度系数 | Zero: ≤±0.02% F.S./℃； Span: ≤±0.05% F.S./℃ | |||
| 耐压 | 3MPa | |||
| 漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||
| 密封材料 | Metal | |||
| 工作环境温度 | （0～50）℃ | |||
| 输入信号 | Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC | No | Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC | No |
| 输出信号 | Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC | |||
| 零漂 | ＜0.6%F.S. per year without autozero | |||
| 电源 | ±11～±16 VDC (双极) 或 +11～+28 VDC (单极) | |||
| 表面化学成分 | Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms | |||
| 表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||
| 标准接头形式 | VCR1/4阳接头；1.125″C型密封接头1.125″W型密封接头 | 1.5″B型密封接头1.5″C型密封接头1.5″W型密封接头 | ||
| 电源接头形式 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male | |||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
CS300型质量流量控制器由北京七星华创流量计有限公司为您提供，如您想了解更多关于CS300型质量流量控制器 报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。
