仪器简介：
BOC Edwards EXT泵适用于除zei苛刻的半导体应用和科学应用（这些领域可使用STP系列泵）以外的任何领域。STP系列泵使用电磁轴承，EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点，以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

技术参数：
见技术资料

主要特点：
BOC Edwards EXT系列涡轮分子泵可以通过TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器将涡轮控制和仪器控制合二为一，使用起来更加方便。OEM或有电源的zei终用户可以使用EXC控制器在自己的系统中控制EXT涡轮，这可以降低成本。另外还具有如下优点：无油（涡轮分子泵不产生碳氢化合物污染）；低维护（无轴承接触，无机械磨损）；低振动（比一般轴承的振动低一个数量级）；减少冷却（对许多应用来说自然冷却即可）；定位任意（可以安装在任意位置）。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途