JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统

• JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后，能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品，为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D观察功能、自动TEM样品制备功能，能对应多种制样需求。

• 高性能FIB镜筒

• JIB-4000PLUS采用高性能的FIB镜筒，最大离子束流高达 60 nA，可以扩展到90nA大束流（为可选件），能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨，100 μｍ以上的大截面也可以在短时间内制成。

图1  100μm 直径焊料凸块的截面制备和截面观察

• 用户友好的FIB装置

• JIB-4000PLUS高性能的 FIB镜筒具有出色的可操作性，外观和GUI设计都很友好。 即使没用过FIB也能够轻松操作； 此外，该装置小巧紧凑为业界最小体积，安装场所的选择范围很大。

• 双样品台

• JIB-4000PLUS标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用，此外还可以增配侧插式测角台（TEM用Tip-on 样品架可以直接插入）。侧插式测角台与JEOL的TEM系统通用，这样，FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行。

• 3D观察功能

• 为了进行3D观察，设备标配连续切片截面观察功能。JIB-4000PLUS虽然是单束FIB，但是可以通过SIM像进行3D观察。用3D重构软件，可以将收集到的截面图像重建为3D图像，可以从各种角度显示3D图像。

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• 图2  CCD imaging center 的3D重构图

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• 自动TEM制样功能

• 自动TEM制样功能 "STEMPLING" 是选配件。有了这个功能，制样不需要有很高的技能，任何人都能简单地制样，也可以对多个样品自动制样，提高工作效率。

图3  自动TEM制样功能 (STEMPLING) 的加工例    样品：焊料

• 丰富的附件

• 有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统，对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件，该系统可以支持样品制备以外的应用。

• 产品规格

• FIB

JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统信息由日本电子株式会社(JEOL)为您提供，如您想了解更多关于JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途