日本电子RF-120系列高频电源 溅射

RF-120系列是多功能电源，标配DeviceNet，RS232C和模拟接口，以及模式操作，弧形切割/计数功能，过去数据存储等。 我们还提供可与每个电源组合的匹配设备（匹配网络）。

特点

• 根据模式操作
  射频电源内的预设输出和时间数据自动控制输出 每个模式最多可设置 5 个点
  

• 圆弧切割功能

• 电弧计数功能
  计算电弧出现的次数，并在达到设定次数时停止输出。

• 脉冲操作（可选）
  脉冲周期：100Hz~10kHz，占空比：20~80%
  *脉冲发生器需单独使用

• 同步运行 连接到其他高频电源，可以同步运行
  

• 启动慢/减速

• 反射限幅器延续限制
  测量自反射功率限制器运行以来经过的时间，并在达到设定时间时停止输出。

• 将过去数据存储异常时间过去
  30秒的内部数据输出到外部

• 当匹配完成确认反射功率小于设定值时输出确认
  信号。

• 圆弧切割操作确认输出

• 限幅器操作检查输出

• 入射和反射功率监视器输出

• 输入上电验证输出

• 射频输出检查输出

• 异常确认信号输出

• 
  

  设备网络，RS232C，模拟

• CE标志一致性（不包括某些型号）

可选功能

• 手动控制面板 （RF-56000）

• 移相器

• 水冷入门端子（用于离子电镀）

使用示例

规格和选项

射频-12010

射频-12020

射频-12030

射频-12040

最大功率输出

输出连接器

输入电压

输入电流

振荡方式

振荡频率

输出稳定性

脉动

谐波失真

冷却方式

外部尺寸（毫米）

宽度

深度

高度

重量（公斤）

• RF-12040由单元1（149毫米高/25千克）和单元2（199毫米高/30千克）组成。

• 外部尺寸不包括突起（例如后风扇）。
  RF-56000外形尺寸 ： 105毫米（宽）×305毫米（深）×145毫米（高）

这是用于等离子体生成的13.56MHz高频电源（RF电源），用于溅射、蚀刻、CVD和离子镀等薄膜制造和加工。

日本电子RF-120系列高频电源 溅射信息由日本电子株式会社(JEOL)为您提供，如您想了解更多关于日本电子RF-120系列高频电源 溅射报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途