扫描近场光学显微镜(SNOM)

电子电路驱动微扫描器，样品微扫描台上随扫描台在XY平面内扫描，在Z方向进行精密移动，由光纤探针和石英音叉构成的光学探针由微动电机驱动，进行粗逼近。石英音叉传感器检测光纤探针与样品的剪切力，通过电子学反馈控制系统反馈给扫描平台，使探针与样品之间的间距恒定在纳米量级。由光电探测器探测光纤接收或发射端的光强，获得样品表面形貌和近场光能量分布；本装置由测量主题（光源、物镜、探针、扫描台等），扫描驱动电源，光电检测电源，CCD监视器，微机系统组成。

标准配置技术指标
工作模式 透射或反射
透射方式 探针照明和探针接收
光源波长 532nm，10mW（可选配Ar离子激光器实现多种波长）
样品要求 尺寸≤Φ20mm
X-Y线性扫描范围 20μm×20μm
探针 红色与绿色孔径<100nm
探测器 光电倍增管
精密探针定位 4×4mm，分辨率：5μm
扫描台在Z方向的线性移动范围
3μm
光学分辨率 50～100nm管
剪切力分辨率 Z：1nm，X/Y：10nm
样品定位 30×30mm
样品台水平移动范围 5mm×5mm
Z步进距离 ＜200nm
观察系统 分辨率2μm，观察视野2mm，放大倍率28X－100X，彩色CCD观察0.9-2mm，彩色CCD放大率93X－325X
控制系统 全数字控制装置
防震方式（选购） 精密防震平台（VLT-B09-06）

透射方式：
对透明薄膜样品，照明光源经物镜聚焦在样品表面，光探针在薄膜的另一表面扫描，由探针接受样品表面散射光，获得近场图像。
采用长焦距物镜焦点能够达到并照明厚样品的表面。物镜在三维空间可调。
反射方式:
对不透明样品可以改变仪器光路和探测器位置实现反射式测量。需另外增加接收探头。提供Windows系统下的应用程序。
可以同时获取光学图和形貌图像的，提供一至两个附加的采样通道和相应的图像显示存储功能。提供图像数据与标准图像格式的转换。
提供伪三维图像显示，FFT滤波、平面校正、曲面校正功能。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途