森美协尔 CG系列 真空高低温探针台

产品概要

CG高低温真空探针台是SEMISHARE多年来技术积累的创新成果，同时SEMISHARE也是国内率先自主研发推出的高低温真空探针台，CG高低温真空探针台能够实现样品在真空高低温环境下的精确电性、光强、波长、磁场等测试，其在超低温，超高真空，自动控制，激光模拟方面发挥着技术优势。

基本信息

应用方向

CG高低温真空探针台在高低温真空环境下的芯片测试、LD/LED/PD测试、光纤光谱特性测试、材料/器件的IV/CV特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、高频特性测试等

技术特点

真空腔体

真空腔体采用外腔和屏蔽腔双腔体结构，为样品测试提供极限压力为10-4Pa的真空环境。低温测试时，避免空气中的水蒸气在样品上凝结成露水，从而避免漏电过大或探针无法接触电极而使测试失败。同时，由于真空绝热作用可是有效的提供制冷效率。高温测试时，避免了空气中的氧气氧化样品，从而避免样品电性误差、物理和机械上的形变。

探针臂XYZ调节机构

探针臂XYZ调节机构采用了自锁丝杠和交叉滚子导轨的结构，实现了探针定位精确为10um，探针漂移量优于±60nm/30mins的高精度点针。同时，采用三轴管状夹具和高屏蔽功能的三轴线缆，从而实现测试漏电精度达50FA。

探针热沉设计，定位更精准

SEMISHARE直流探针臂均配有两次热沉设计，第一次探针臂热沉在防辐射屏上、第二次探针通过陶瓷夹具热沉在样品台上。SEMISHARE的热沉设计能够有效的降低探针臂与测试器件的温差，提高了测试数据的精确性。

显微镜调节机构

显微镜调节机构通过调节支撑架的伸缩、高低以及显微镜自带调节座，可观测样品任意区域。20倍目镜和0.8倍-5倍的物镜变焦倍率，从而实现样品16X-100X的放大倍率。

制冷剂流量调节系统

制冷剂调节系统由杜瓦罐、压缩氮气压力控制阀及精密调节的针阀组成。控制低温时，通过调节压缩氮气压力控制阀来调节杜瓦罐中的压力，从而控制制冷剂流出的压力，继而调节制冷剂的流量；通过调节精密针阀进而精密控制制冷的流量，最终实现精准的低温控温功能。

制冷剂同轴回路

制冷剂同轴回路使制冷剂从中间进入管路进入样品台，流经屏蔽腔底板腔室，在回流至同轴回路外层回流管中，最后通过排气口排放到室外。制冷剂同轴回路使得制冷剂在排出的过程中加以利用，营造相对室温低很多的环境，抑制了进入样品台的制冷剂的提前消耗，从而提高制冷剂的制冷效率，较少制冷剂的消耗。

防震平台

防震系统采用空气弹簧式支撑架的防震平台。通过空气弹簧的形状、材质、弹簧室的容积及补助罐容积、阻尼孔径和水平调节阀等一系列减震设计，实现该系统垂直本征频率为1.5Hz，水平本征频率为1.2Hz的低频固有频率，承重达400Kg的承载能力。从而有效避免细微低频率频带的振动给测试带来的不利影响。

功能结构

常见2种应用需要真空测试环境

极低温测试:

晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。同时由于真空绝热作用可以有效提高制冷效率。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

规格参数

森美协尔 CG系列 真空高低温探针台信息由SEMISHARE（深圳市森美协尔科技有限公司）为您提供，如您想了解更多关于森美协尔 CG系列 真空高低温探针台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途