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分析测试百科网 > EMS > 等离子体表面处理仪 > 低温灰化仪EMS1050

低温灰化仪EMS1050

参考报价: 面议 型号: EMS1050
品牌: EMS 产地: 美国
关注度: 32 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质生产商产地类别进口
仪器种类等离子体清洗器
设备尺寸Dia110mmX160mmH控制方式 自动
功率0.6kw工作气体 1
样品腔材质Pyrex样品腔容积0.48L
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应用领域:

  • 生物芯片领域

  • 医用材料、光学材料研究

  • 电子半导体领域

  • 高分子材料研究

  • 电化学、高端零部件处理

  • 有机材料的灰化、刻蚀

仪器性能:

  • 自动调频高频发生器

  • 内置旋转真空泵

  • 此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀

  • 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)

  • 真空监测.

  • 双重气流针阀控制

  • 精确时间定时

  • 微处理器程序设置

  • LCD状态数字显示

  • 腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便

  • 聚碳酸脂安全防护  

技术参数:

整机尺寸

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)

(硼硅酸盐玻璃为标准配置)

重量

25Kg

等离子体输出

最大150w,13.56 MHz 。

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

时间控制

最长可设置99小时59分钟

双重气流控制

双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准   5-100cm3/min air at A.T.P)

电源

230 V, 50Hz (3 amp Max)



低温灰化仪EMS1050信息由海德创业(北京)生物科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于低温灰化仪EMS1050报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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