F系列涡轮分子泵利用高速转动的转子携带气体分子获得超高真空，极限真空度可达10-8Pa，不能直接对大气排气，需要配置前级泵，广泛应用于表面物理和分析仪器、等离子体物理和空间研究、核聚变反应装置、高能加速器、真空镀膜、真空冶炼、半导体和光学器件制造等需要高真空和超高真空领域。

型号 极限压力(Pa) 抽气速率(L/s) 压缩比 转速(RPM) 启动时间(min) 前级压力(Pa) 前级泵抽速(L/s) 冷却水温度(℃) 冷却水压力(MPa) 烘烤温度(℃) 重量(kg)

F-150/450 10-6 10-8 450 108 102 24000 ＜5 10 8 16 0.2 120 35

F-250/1400 10-6 10-8 1400 108 104 24000 ＜10 10 30 16 0.2 120 70

F-400/3500 10-6 10-8 3500 1010 104 15000 ＜30 10 70 16 0.2 120 160

· 理想的动平衡，震动和噪音小。

· 陶瓷轴承使用寿命长。

· 无油，不会产生碳氢化合物。

· 压力10-1～10-8Pa范围内均有恒定的抽速。

· 免维护，经久耐用。

· 体积小，重量轻。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途