1000℃小型RTP炉--OTF-1200X-4-RTP

加热元件

8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm）（点击图片查看详情）

加热区

12" length with 4"X12”恒温区（ +/-5oC ）

石英管和样品架

• 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

• 3" 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料

•  一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。

• AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C

真空法兰

• 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封

• 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

水冷

如果要求通冷却水.

• 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20oC; 水压 > 25 PSI

• 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统（为了节约用水）.

• 警告:  这款 RTP 炉在1000oC ~ 1100oC下保温时间不超过 600 秒，否则“ O”圈将被烧融
           

流量计

范围： 16 - 160 ml/min

真空表

• 标配：数字真空表，测量范围：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会很严重。

• 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片了解详细参数）
  

• 用机械泵真空度达 50 mtorr .

• 用分子泵真空度可达 10^-4 torr .

温度控制

PID 自动控制， 可控硅 SCR

热偶

进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。

温控仪

• PID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护功能

• 热偶: 进口K type

• 自整定功能

• 控温精度: +/- 1°C

• RS485 串口和温控软件（模块和数据线需要另购）  

• 温控操作视频：点击查看

最快升温速度 

最快降温速度 

温度

电源