CDG045D

INFICON SKY CDG045D 真空计是高精度总压强测量和控制的最佳选择. 为达到优异的讯号稳定性和可重复性, 将 CDG045D 真空计的温度控制于45 °C. 全量程范围从100 毫乇至 1000 乇, 配有全部常用的法兰型式和 fieldbus 接口, 和提供线性的 0 至 10 伏与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好, 从大气压恢复快, 预热时间短和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 成本效益好的压强传感器, 用于要求高的各项真空应用中.

优点
■ 低 CoO (拥有成本), 50% 快速预热, 能效高, 功耗低
■ 易整合于系统中, 宽量程范围, 法兰和接口, 型号有标准和带两个设点的
■ 简易的一键操作或遥控讯号调零指令, 零点偏离可调
■ 诊断端口用于快速维修和维护
■ 两年保修期, 采用先进的加热概念和传感器保护, 真空计使用寿命长
■ 由于卓越的讯号稳定性和可重复性, 即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用, 无需重新校准
■ 承诺和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

用途
■ 刻蚀, CVD, PVD 和其它半导体生产过程
■ 化学和腐蚀性真空过程
■ 常用薄膜和真空过程
■ 用于按国际标准监测测试仪器的参考传感器
■ 用于跟踪性测量的传输标准

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途