特征概览:等离子体频率900M Hz, 光波长范围：190-890 纳米易更换等离子体组件，低的运行维护费KF40或KF50 标准连接口良好的探测精度最低至pp......
特征概览:等离子体频率400M Hz, 光波长范围：190-890 纳米易更换等离子体组件，低的运行维护费KF25 标准连接口良好的探测精度至ppm级宽工作压力......
特征概览:智能的分析软件平台，有收集各种传感器数据，整合分析及提供统计分析谱图（SPC），报警等功能。 应用：用于半导体，平板显示器及太阳能等行业。......
特征概览:监测直流电源的电压及功率传输高速采样频率，可达10万赫兹 应用：用于探测半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD腔体工艺制程过程中等离子体放弧......
特征概览:监测直流电源的电压及功率传输高速采样频率，可达10万赫兹 应用：用于探测半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD腔体工艺制程过程中等离子体放弧......
特征概览:非接触式超小设计，监测高功率射频电源的电流及电压传输方便替换传统的光谱仪，准确探测刻蚀工艺的终点监测腔体是否刻蚀干净及过度刻蚀，缩短刻蚀时间和降低气体......
特征概览:用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统，检测范围：0-100，0-200和0-300amu允许7天24小时连续监控，提高产品良率及产能，降低生产成本紧......
特征概览:新设计的离子源使污染最小化，从而延长其使用寿命和提供更清楚的讯号新型电子倍增器在PVD工艺压强下提供更快速，清晰的数据收集和免除法拉第杯和电子倍增器的......
特征概览:0-100,0-200,0-300 amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合改进对氢的检测卓越的峰值和位置的稳定性与传统的Transpecto......
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