MM3A-EM探针站

MM3A-EM探针站包括多达八个MM3A-EM微操作器，与我们的X和Y方向行程为30mm的远程子阶段相结合。子阶段可以选择性地配备位置编码器，可产生50nm的重复性。另一个选项是添加一个范围为3 mm的Z轴。

整个平台可以在短短几分钟内安装在SEM的载物台上，也可以很容易地将其移除，以使显微镜恢复到以前的状态。

MM3A-EM微操作器配备了低电流、低容量的测量能力，并与探测工具硬件和软件套件完全兼容，包括带电接触测试仪和电子束感应电流成像模块等。

该平台还可以安装温度高达450°C的加热台。其他定制可根据要求提供（e，g，集成LED照明）。

性能特点

• 紧凑灵活

-易于安装和拆卸，具有高度灵活性

-带模块化组件的即插即用系统

-大多数SEM/FIB仪器的接口解决方案

-快速设置

-大样本的充足空间

-大工作范围（30 mm x 30 mm子阶段行程）

-开创性的布线技术

• 清晰简单

-直观的控制界面和软件

-用户友好且易于学习

-快速简便的探针头更换

-紧凑、独立的电子设备

-使用多个操纵器轻松工作

• 坚固稳定

-好的稳定性

-低漂移（1纳米/分钟）

-可靠运行（一年耐久性试验）

-几乎不受振动影响

-手动快速预定位

• 快速准确

-高操作速度（高达10毫米/秒）

-亚纳米分辨率（0.25纳米）

-无齿隙或反向间隙

-广泛的工作范围

-一个驱动器中的粗排量和细排量

技术参数

• 总高度：31毫米

• 总宽度：180毫米

• max样本尺寸：70 mm-70 mm，max高度10 mm

• 重量：~1200克

三轴微型操作器

A=左/右B=上/下C=进/出

• 工作范围：A=240°，B=240°，C=12mm

• 分辨率A:7 x 10–9 rad（0.5 nm）

• 分辨率B:7 x 10–9 rad（0.2 nm）

• 分辨率C:<0.05 nm

• 低漂移：1纳米/分钟

低容量、低电流测量

• 噪音：25 fA@1 Hz

• 绝缘泄漏电流：<50 fA/V

• 信号导体电阻：<5Ω

• max电压：100 V

• max电流：100 mA

变电站

• 行程X和Y：28.5毫米

• 速度：highest 2 mm/s

• 分辨率：＜0.5 nm

• 重复性：50 nm（可选）

• 角度偏差：<1µrad

• 负载：500 g

• 可选Z驱动范围：3毫米

• Z提升能力：25 g

• 温度范围：273 K至353 K

• 特高压版本：273 K至393 K

• min压力：10-7毫巴

• 超高压版本：2 x 10-10毫巴

• 变电站安装：4 x 3.2 mm孔

• 样品安装：夹子或2 x M3孔

产地：德国

微纳米操纵仪MM3A是德国Kleindiek Nanotechnik 生产的一种高精度易操纵用于各种显微镜设备下的一种微纳米样品操纵设备。目前主要型号分为：MM3A-EM，MM3A-LMP和MM3A-LS三种型号。

MM3A-EM型号是专门设计用于扫描电子显微镜及双束FIB以及各种真空 环境下的微纳米操纵仪，它可安装在现有的各种扫描电镜及FIB环境下，是一款不用改造电镜样品台且安装灵活使用简便的微操纵系统，其上可以搭载如力学测量探头，微镊子、显微焊接功能插件、GIS（气体电子束诱导沉积插件）、LCMK(弱电流测量屏蔽插件）等等多项扩展功能插件，是一个集各种科学研究不可多得的平台产品。MM3A-EM也可用于各种显微镜下工作，可以和共聚焦显微镜联用。MM3A外接Keithley或Agilent的专业的电流测量设备 后可以测量微纳米材料的电学性能，低至1

MM3A-LMP是MM3A家族中的另一款型号，专门设计用于各类显微镜下的产品，它除了不能用于真空及电子显微镜下外，其它功能与MM3A-EM相同。

MM3A-LS是MM3A家族中为生命科学研究单独设计的，其后端及前端与膜片钳联用可以进行膜电压的测量。

MM3E -EM闭环设计微纳米操纵仪 微纳米操纵仪的基础上，结合闭环位置反馈， MM3E 具有同样的紧凑性、精度和稳定性。 这种改进进一步加强了微纳米操纵仪系统易 用性(例如，定义停靠位置和工作位置，并通过点击一下按钮来到达)。

MM3E 与市场上几乎所有的 SEM或 FIB / SEM 都完全兼容。 它有一个直观的，拖放式的控制软件，提供 了一个简单的方式，在SEM 或 FIB / SEM中三维定位 的工具尖端位置。 该软件执行坐标转换，让mm3e 表现为一个笛卡尔系统， 具有几微米的可重复性。 通过可选的轴向闭环旋转驱 动，样品可以在样品附近进行整体旋转。 给你的显微镜一只手: 使用 MM3E 为你的仪器增加新的 功能和性能。

更加紧凑和灵活 占用空间小，以笛卡尔方式使用非笛卡尔坐标轴 即插即用系统，带有模块化组件和一系列插件工具为大多数 SEM / FIB 工具提供接口解决方案。 

快速安装

多个微纳米操纵机械手一起轻松工作 面向结果的操作，提高效率

直观的软件控制界面 方便使用，易于学习

更换探针简捷方便，无需腔室放气

简单清晰 紧凑的结构可以提供更高的响应频率

优异的稳定性 可靠的运行(一年的耐久性试验) 几乎不受震动的影响

手动快速预定位 工作范围广(100立方厘米) 精移、粗移一次驱动

技术规格：

辨率 xy ~ 5nm

分辨率 Z<0.5nm

轴向分辨率 r 5e-6弧度

恢复精度XYZ<2微米

轴向恢复精度<0.02度

漂移 < 1nm/min

旋转同心度~ 30微米

MM3A-EM探针站信息由天津赛力斯自动化科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于MM3A-EM探针站报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途