400-6699-117转1000
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参考报价: | 面议 | 型号: | GSL-1100X-8.5-SR |
品牌: | 沈阳科晶 | 产地: | 辽宁 |
关注度: | 790 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 |
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产品简介:8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。
控温仪表操作视频
产品型号 | 8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:需要选配冷水机 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头) 4、工作台:尺寸2000mm×600mm×700mm,承重400kg以上 5、通风装置:需要 | ||
主要特点 | 1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。壳体温度<70℃。 2、滑轨式法兰结构,方便取放样品。 3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。 4、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。 5、右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设有4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射。 6、已通过CE认证。 | ||
技术参数 | 1、电源:单相220V 8KW 2、石英管:外径?216mm,内径?208mm,长1300mm 3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝 4、加热区域:600mm 5、恒温区域:200mm 6、工作温度:≤1100℃,连续工作400℃-1000℃ 7、升降温速率:≤10℃/min 8、控温精度:±1℃ 9、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵) 10、热偶检测真空接口:KF-25口:1个 11、进气接口:5路,精密不锈钢针阀密封 12、炉体:1300mm×680mm×920mm 13、滑轨:600mm | ||
产品规格 | 尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg | ||
标准配件 | 1 | 石英管堵 | 1个 |
2 | KF-25真空挡板阀 | 1个 | |
3 | KF-40不锈钢波纹管 | 1根 | |
可选配件 | 1、软件接口模块和PC机 2、K型热电偶(?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准) 3、冷水机 4、高速双极旋片泵 5、数显真空计 6、高真空机组(机械泵和涡轮分子泵) 5、质量流量供气系统 6、石英样品架 7、可移动炉架(800mm×600mm) |
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途