德国布鲁克Micro-CT for SEM

    Micro-CT for SEM 样品内部微结构的无损检测和透视化 3D显微术：微计算机X射线断层扫描技术 基于扫描电子显微镜（SEM）平台研发，Micro-CT为SEM增加真正的3D显微术---任何厂家和任何型号的SEM均可搭配。SEM通过获取样品的 表面信息成像，而SEM专用的Micro-CT将成像技术进一步延伸，以独特的视角观察样品内部的微结构---完全无损、操作简便。

     Micro-CT功能概述 非破坏性的获取样品内部微观结构信息，无需任何额外的样品制备 以2D或3D图像的形式形象化地显示和测量样品内部的形态 生成仿真模型，实现对样品内部的虚拟透视 直观、易用的3D透视软件，以三个正交面或切片影像形式将样品细节可视化 最大扫描体积的直径可达4mm，最大样品长度可达10mm 细节检测尺寸优于400nm 用于高分辨率成像的精准旋转样品台 X射线CCD相机分辨率达512×512或1024×1024像素 可与法兰口直径不小于65mm的任何型号扫描电镜搭配 真正的3D显微术 微计算机断层扫描或“Micro-CT”是一种3D X射线成像技术，与医用CT（CAT）扫描仪方法相同，但基于小尺寸，具备极高的分辨率。它是完全非破坏性的对样品内部精细结构进行成像的3D显微术。 Micro-CT系统以独特的功能对整个样品的2D/3D形态进行测量和成像，并生成样品的仿真可视化模型，实现样品的虚拟透视。

    工作原理 SEM镜筒中的电子束轰击金属靶而激发出X射线，由安装在SEM样品腔侧面的高灵敏X射线CCD相机来捕捉X射线。样品被固定在靶材和X射线CCD相机之 间的高精度旋转样品台上，并置于X射线束中。在扫描过程中，计算机通过控制样品的旋转，从X射线CCD相机上获取一系列有一定角度的，能表征样品内部微结 构的阴影投射图。 智能的分析软件对包含着样品内部微结构信息的阴影投射图进行反推和处理。将不同角度的阴影投射图进行综合处理后，即可无损地得到完整的样品内部3D结构信 息。这些3D结构信息可被显示为任何方向的虚拟切片或仿真的3D可视化模型，它不仅包括样品的表面信息（如传统的扫描电镜成像），而且包括样品内部的所有 细节。

     Micro-CT 系统 扫描电镜专用的Micro-CT系统包含若干模块，可为任意型号的扫描电镜添加3D成像模式，而不影响扫描电镜的标准成像模式。Micro-CT系统无需 对标准SEM结构进行任何改装。 微型扫描器安装在扫描电镜样品腔内的标配样品台位置。它包含产生X射线的靶材、一套旋转样品台、和一套自动马达驱动的线性移动台。其中，线性移动台通过改 变X射线发射点和样品之间距离来调节透射图像放大倍率。 相机组件安装在扫描电镜样品腔侧壁上。它包含一个X射线CCD相机、一套连接微型扫描器的真空穿透装置和一个调节图案的快门。CCD相机组件连接微型扫描 器的控制单元，通过USB接口获取电源和接收命令，控制微型扫描器所有部件的移动。X射线CCD相机也是通过USB接口连接到计算机。 简洁、易用的软件 Micro-CT软件基于Windows 环境研发，可在Windows7、Vista和XP等环境下运行。其主要包括控制程序、3D重构软件、形态分析和仿真可视化工具。

     软件界面简单、直观。控制程序的工作方式如下：从X射线相机获取图像，调节图像的放大倍数和X射线成像对象的角度位置，收集穿透样品的角投射影像集进行 3D重构，并支持相机和微区扫描器的校准。 容积重构软件“NRecon”将角投射影像集转换成被测样品的虚拟切片。它提供错位修正、环形伪影抑制、感兴趣区域的体积选择、大于视图范围的对象的重构 和密度窗口调整。

     数据浏览软件“DataViewer”可灵活浏览重构的切片集，并以重构的空间内任何一点为中心，显示为一个切片影像或三个正交的截面图像。用户可添加平 滑效果、保存矢状面和冠状切片、测量距离和强度分布、向任意方向旋转重构的对象并将调整后的数据保存。

    Micro-CT系统主要包括以下标准部件： 微扫描器：扫描电镜样品腔内高真空环境下用于样品操纵，配以高精度旋转样品台、自动马达驱动的缩放调整装置和监控放大倍率的传感器； 相机组件：包含前置铍窗X射线CCD相机、微型扫描器、对准靶材、快门、法兰盘和安装时必需的密封组件； 电源组件（带电缆）：用于X射线CCD相机供电； 微处理器控制单元：经计算机由USB连接，操控微型扫描器； X射线靶（两套）：短臂靶用于高倍成像；长臂靶用于扫描大型样品； 特制保护帽：带X射线透过窗口，保护非导电性样品，无需任何表面喷镀，即可直接拍摄和扫描； 样品台（两个）：一个用于当前样品扫描，另一个用于放置待测样品； 软件光盘、驱动程序、电子版文档和用户手册。