样品: | Au-Pd-Ni镀层 | 项目: | 超薄Au-Pd-Ni镀层层厚分析 |
参考: | ISO3497、ASTMB568以及DIN50987 |
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超薄Au-Pd-Ni镀层层厚分析 |
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超薄Au-Pd-Ni镀层层厚分析
在微电子行业,增加集成度意味着进一步微型化电子部件的大小和结构。这取决于这些结构功能镀层的物理尺寸和层厚。因此,质量保证过程中,对这些部件进行层后分析日益重要,挑战性越来越大,引线框架超薄Au-Pd-Ni镀层结构就是很好的例子。Au与Pd厚度规范普遍在哪里范围,现在,典型的结构大小(宽度)小于100μm。
本报告所述测量采用了两台专门适用于此等测量的布鲁克X射线荧光光谱仪完成:M1 MISTRAL SDD与M4 TORNADO。这两台仪器均配有硅漂移探测器SDD,可提供极好能量分辨率(~145eV)与谱峰/背体比例。
结果证明,测量超薄Au与Pd镀层是,SDD探测器的能力分辨率必须较高。
M1 MISTRAL SDD非常适用于测量点较大的场合(>0.3mm),测量点较小的更适合采用M4 TORNADO。
M4 使用聚焦X射线光学元件能够形成极高的激励强度,减少测量时间(即30秒),而且精度与准确性仍可以接受。