Lumina-200独立式高分辨率光刻/对准器。 Lumina系列为电子，光电，MEMS和许多其他应用中的高分辨率，精确对准，接触和接近光刻提供了高质量，可靠且经济高效的解决方案。 它具有易于使用的界面，高精度的载物台，高性能的光学元件和较小的占地面积。

主要特点

高分辨率光刻

高精度对准平台

最先进的对准光学

精确的间隙控制

用户友好的PC控制

占地面积小

具有成本效益的设计

背面对齐可选

应用领域：半导体器件 *微机电系统 *光电子学 *高级包装 *电力设备

技术参数

手册X-Y-?

带称重传感器的电动Z

移动范围： X和Y：1英寸

?：10度

Z：0.25英寸

掩膜加载能力

5”口罩标准

其他尺寸可选

基板装载能力

4”标准

其他尺寸可选

对准 模式：接近、柔和、硬

对准光学

分割栏 5倍物镜，1到7倍变焦

2个独立的手动X，Y，Z显微镜移动 精细粗调

通过CCD相机成像

曝光系统

紫外线：汞灯，带有可选的G线或I线过滤器

紫外线灯功率：500瓦

紫外线均匀照射

电动紫外线灯移动

具有Microsoft Windows的基于PC的控制计算机

用户友好的控制软件 PC控制的CCD视频

紫外线灯曝光由电脑控制

占地面积：31英寸乘44英寸（780毫米乘1110毫米）

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途