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气体质量流量控制器M3030系列

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参考报价: 面议 型号: M3030系列
品牌: 暂无 产地: 暂无
关注度: 58 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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仪器简介:

该系列产品应用特定的热传感器和控制电路,保证的测量的高准确度,允许在更广泛的操作条件下获得更精确的数据。
质量流量控制器被广泛应用于半导体工业及其他工业领域。传感器设计为糙面,容易使用。
应用范围:
所有工业行业
精确的气体混合&分析
表面处理工业(PVC,CVD反应堆等)的气体注射
半导体工业
组分泄露探测
研发
高压工业
光纤
燃料电池(油箱)
反应堆系统
气体混合系统
实验室



技术参数:

产品型号: M3030V
流量范围 (N2): 5~35000毫升/分钟
响应时间: ≤3秒
准确度: ≤±1% 满量程
重复精度: ≤±0.25% 满量程
输出输入信号: 0~5Vdc
供电: ±15Vdc,350毫安
耐压 : ≤90 bar
工作环境温度: 0~50 °C

产品型号: M3030A
流量范围 (N2): 5~35000毫升/分钟
响应时间: ≤3秒
准确度: ≤±1% 满量程
重复精度: ≤±0.25% 满量程
输出输入信号: 0~5Vdc或4~20毫安
供电: ±15Vdc,350毫安
耐压 : ≤90 bar
工作环境温度: 0~50 °C



主要特点:

测量原理:
气流被一个分层气流支路恒速分流,气体分子通过传感器。携带热量的下行气流在RTD之间产生一个温差,这个温差同质量流量速率成比例。

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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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