高低温探针台(80K-500K)

变温真空探针台，用于不同环境、不同温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及材料电学特性表征。液氮温度-300摄氏度高温连续变化、控制，功能强大，性价比高。为科研必须的实验设备。

1、探针台基座、样品盘及变温系统
- 材料：铜；
- 尺寸：4英寸；
- 样品盘移动(X:20mm Y:20mm)；
- 温度控制系统，包括测量及显示系统；
- 温度范围：-175℃ ~ 300℃ (低温使用LN2杜瓦及LN2管等低温附件)；
2、真空腔体：
- 尺寸：650*500*350；
- 互交通道(3EA, 支持6P连接器)；
- 观察视窗(240mm, 耐热玻璃视窗)；
3、“Y”– 移动驱动器， “Z”– 移动驱动器；
4、X*Y移动平台 移动范围：20*20mm， 分辨率：10um， 重现性：1um；
5、针座：
- 磁体固定，Adopted Plate Spring；
- 移动范围：X-Y-Z 10-10-10 mm；
- BNC/Triaxal电缆；
- 针座螺旋分辨率：10um/pitch，重现性：1um；
- 尺寸：70*28 mm；
6、Navitar zoom lens system 光学镜头系统；
7、真空泵：
- 400升/分钟；
- 油过滤器，真空夹钳，波纹管等真空附件；
8、探针：
- 材料: tungsten,
- Radius: 0.02”(Variable Radius: 0.7㎛,1.0㎛,1.2㎛,1.5㎛,2.0㎛,5㎛,20㎛)；
9、LN2杜瓦：15 L/min, 包括压力控制器；
10、真空连接器；
11、选配的数字CCD相机：
- 控制软件，数字相机与显微镜兼容；
- 成像传感器：1/2” 彩色CCD；
- 分辨率：1.4Megapixel Camera(1280*1024)；
- 装配类型：C-Mount类型；
- 软件提供：USB2.0；

1、探针台温度变化范围：-175℃ ~ 300℃，连续变温无节点。
2、探针台进行“低温冷却”及“高温加热”无须更换腔体，用户可以自如操控探针台从液氮低温段至300摄氏度的高温段，变温迅速而且操作简便。
3、真空腔体有足够的空间，用户更容易进行显微镜、针座或电学设备的调整。
4、石英玻璃视窗，用户可以透过视窗观察腔体内部配置及样品状况。
5、专利的互交连接器技术，使真空探针台更易于应用于直流及射频信号(DC & RF)，同时有助于温度显著变化调节下(Min: -175℃, Max:300℃)的光学及电学设备调整。
6、高精度定位螺旋系统；
7、样品盘：zei多可以放置10套针座；
8、样品盘弹性构造设计：针座Z轴移动时，样品盘弹性构造可以有效保护样品及探针尖；
9、显微镜高兼容性，可以配置高分辨的显微镜及CCD系统；

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途