性能指标：
分辨率： 3.0nm (30kV, SE image) 10nm（3KV,SE image）
                  4.0nm (30kV, BSE image) 可选
放大倍数：10x~300,000x（WD=5mm）
加速电压 0.5kV~30kV
电子枪：三级自给偏压，偏压电阻可自动/手动调节，预对中发叉式钨丝阴极
透镜系统： 三级电磁透镜 2 个聚光镜，一个园锥形物镜
物镜光阑： 4 孔可变光阑，摇摆对中合轴
图像电位移和电旋转： ±50 ? (WD: 10 ㎜)； 0-360°无限
样品室： 内径φ210mm ，可扩展接配EDS,BSE，WDS 等探测器
样品台及行程：  五轴手动机械对中样品台
                              X: 65 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
zei大样品尺寸：130mm(直径) X 71mm (高度)
样品台控制方式： 自动/手动
操作系统: PCI、USB 接口的PC 机控制, 奔腾4 兼容机，Windows XP, 19 英寸彩色显示器，图形用户界面（GUI）嵌入多种图像实时分析测量工具，鼠标键盘操作
自动功能: 自动聚焦，自动亮度对比度，自动消象散，自动电子束对中，自动物镜光阑合轴，自动电子枪加饱和，自动电子枪偏压，动态聚焦，倾斜补偿。
扫描模式:屏幕选区模式: 320 x 240 像素
                TV 屏幕扫描模式：640 x 480 像素
                全屏慢扫描模式: 800 x 600 像素 (3 档速度)
                分屏扫描模式：1200 x 600 像素 (SE BSE 双信号)
                 全屏照相获取模式 1: 1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840 像素
                  波形观察模式
图像格式 JPG, TIFF, BMP
语言 英语
真空系统:全自动高真空系统，样品室处真空度优于1x10-5 Torr，真空度实时显示.涡轮分子泵260 升/秒 + 旋片式机械泵100L/min
外形尺寸和重量:主机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350 ㎏
                             电脑桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安装要求：电源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
地线：独立地线1 条，小于等于100Ω
温度：15℃~30℃
湿度：小于等于70 %
交流磁场：小于等于0.3 uT
地面振动：5 um/sec Max.
门宽 900mm 或更宽
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