中科院化学所本原纳米仪器有限公司（华南分公司）

本原纳米仪器有限公司（原中科院化学所本原纳米仪器中心）在中国最早从事扫描探针显微技术开发。自1988年开始，参与国内第一台扫描隧道显微镜、激光原子力显微镜、横向力显微镜等的开发研制，先后获国家科技进步二、三等奖各一项，中国科学院科技进步一等奖一项、二等奖二项，国家发明专利多项，在国内纳米仪器行业具有举足轻重的地位。
本原集成了大批国内微电子、精密机械、软件、化学和物理精英，具有强大的开发和研究能力。
扫描探针显微镜（包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜等）业已成为纳米技术、材料、生物技术、微纳电子技术不可或缺的研究手段之一。作为一种集成化的多模式显微、测试系统，它不但能够对表面进行成像、而且可以用于研究表面物性以及微区伏安特性等，或对表面进行结构加工。
本原公司的CSPM2000系列多模式扫描探针显微镜具有扫描隧道、原子力、摩擦力等多种工作模式，可以进行接触式和非接触式以及相位移成像，16bit AD/DA采集卡，多路采集和回显，控制软件和后处理分析软件功能强大，能够轻易实现图形化表面刻蚀加工，提供方便的粒度分析、粗糙度分析等后处理功能，并能够根据用户的需要提供开放的接口以及进行二次开发。