该系列在CSPM-2000系列的基础上，采用更强的激光器、更加精确的步进马达、更加稳定和便于操作的结构设计，在控制系统性能、探头结构和性能、软件功能等方面均有大幅提升。CSPM3000系列包括四个基本型号，即CSPM3100、CSPM3200、CSPM3300、CSPM3400，具有常规多模式扫描探针显微镜的全部功能，同时可以扩展成为扫描电场力、扫描磁力显微镜等。采用大样品台设计，使用户的样品不仅仅局限于一厘米见方的小样品，用户可以有足够的空间自己设计样品台、样品夹具、环境池等，大大拓展了科研应用的领域。
性能指标:
横向分辨率(1μm X lμm扫描器)：
0．13nm(STM，以石墨样品定标)
0．26nm(AFM，以云母样品定标)
垂直分辨率(1μm X lμm扫描器)：
0．01nm(STM)
0．1 nm(AFM)
探针激励信号：
振幅为0~5V；频率为DC~1000kHz，32bit分辨率

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途