皖仪科技离子色谱法测定光刻胶中的阴阳离子

光刻胶又称抗刻蚀剂，是半导体行业的图形转移介质，由感光剂、聚合物、溶剂和添加剂等四种基本成分组成。这些材料被称为高纯湿电子化学品，是集成电路行业应用非常广泛的一类化学试剂。半导体材料拥有独特的电性能和物理性能，这些性能使得半导体器件和电路具有独特的功能。

但半导体材料也容易被污染损害，细微的污染都可能改变半导体的性质。通常光刻胶、显影液和溶剂中无机非金属离子和金属杂质的限量控制在ppb级别，控制和监测光刻工艺中无机非金属离子和金属离子的含量，是集成电路产业链中非常重要的环节。国际半导体设备和材料产业协会对光刻胶、光刻工艺中使用的显影剂、清洗剂、刻蚀剂和去胶剂等制定了严格的无机金属离子和非金属离子的限量要求和检测方法。离子色谱是测定无机非金属离子杂质常用的方法。