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NanoBlock™5轴装置平台,载物台高度为112.5毫米
5轴装置平台设计用于和NanoMAX™600系列6轴波导调节器配套使用。在要求将光学元件或装置固定在高性能多轴对准系统前面时,这款5轴平台非常适合。该装置的5个自由度可以将光学组件相对于另一个定位平台精确定位。通过5个差动调节器可以实现方位对准。粗调是通过0.5毫米节距的丝杆实现的。微调是通过我们专利技术(差动机制)实现的,每转移动量为50微米,行程300微米。
NBM513五轴装置平台的所有转动自由度均通过挠性铰链实现,而x和y线性轴用的是传统的轴承平台,以获得更长的行程。NBM513的顶部载物台距离底部安装面112.5毫米,可与任意NanoBlock配件匹配。
多轴平台
三轴平台
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