其它显微镜 Lyncee Tec 4D 4D反射测量仪

LynceeTec4D反射测量仪是一种独特的解决方案，用于测量反射基板上透明结构的三维地形和厚度。通过DHM®，可以测量透明结构的地形、厚度和折射率，从10纳米到几微米测量表面结构，测量折射率，以及描述由最多3层组成的沉积或刻蚀结构。这种灵活的仪器是一种非接触的方法，非常适合测量液体和软材料。典型的透明SiO2图案通过DHM反射光谱分析进行表征。利用物理定律计算完整的反射波前，通过专用的后处理分析软件，可以获取图案透明样本的三维地形以及厚度和折射率。因此，DHM® 提供了正确测量地形的解决方案，而其他光学轮廓仪的测量受透明材料中光信号多次反射的影响。透明材料（如SiO2和薄金属层）在半导体和MEMS行业中被广泛用于涂层、隔离、保护或结构化层，这些典型样本可以轻松地通过DHM® 进行表征。液体在微流体设备和功能表面上的动态地形对于表征至关重要，因为液体和基底之间会发生多重干扰。DHM® 结合反射光谱分析软件可以提供准确的动态测量。这种解决方案包括LyncéeTec的全系列显微镜目镜、专用的Koala采集和分析软件，以及专用的反射光谱后处理软件。DHM® 技术及其专用的反射光谱后处理软件具有显著的优势。通过单一的DHM® 仪器执行反射光谱分析，扩展您可测量的样本范围。用计量精度测量涂层材料的地形。研究半导体的表面地形和光刻胶。研究动态介电常数变化（霍尔效应）。测量三维地形。液体和软材料的地形学

即时获取结果

DHM®反射分析软件与实时轮廓测量、频闪同步和工业解决方案

应用案例

2009年，应一位DHM®用户的要求，LyncéeTech开发了解释具有透明结构样品的光学测量方案。从那时起，反射分析软件不断改进，增加了新功能和工具。在众多样品中，LyncéeTech发表了以下样品配置的几何地形比较测量：

SiO2楼梯在Si衬底上

透明多层阶级的高度测量

无需任何扫描即可获得非接触和完整的三维地形

准确突显阶梯边缘

穿过Au-SiO2-Si层的凹坑深度测量

穿过透明多层反射衬底的凹坑的完整三维地形

相对较大凹坑区域的深度测定，垂直分辨率达次纳米级

基底上的流体地形

Si基底上液体（TetraEthylenGlycol，TEG）滴的地形测量

非接触，即无损伤测量

液体或软材料滴的完整三维表征的独特解决方案

SiO2纳米楼梯在Si基底上

出版物

“用于半透明多层测量的数字全息反射术”，T.Colomb等人

“应用于流体计量的数字全息反射术”，T.Colomb等人

“数字全息反射术”，T.Colomb等人

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