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NextCVD系列多功能宽密度等离子体CVD国内的电感耦合等离子体都是基于中频13.56MHz的电源发生器，等离子体密度较低，而且是螺旋管式，主要用于等离子体刻......
NEXT CVD MPDEX‐21/21-2电感耦合等离子体系统电感耦合等离子体系统可以产生高密度（1012~1013 cm-3）的电感耦合等离子体，可以施加频......
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