MAIA3是新开发的分析用扫描电子显微镜，它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次电子信号，在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪，以及TESCAN先进的三透镜电子光学系统。

相比于常规物镜，它采用了TESCAN独特构造的60度磁浸没物镜，它能显著地减小光学像差，在低电压下依然有着超高的分辨率。另外，添加的中磁透镜可以和物镜同时使用或者代替物镜观察，以提供多种显示模式。

最重要的特性：

u  具有非凡分辨率的单极60度角物镜；

u  无场模式用于磁性样品的观察；

u  高亮度肖特基电子枪可得到高分辨率/高束流/低噪声的图像；

u  镜筒中的In-Beam二次电子探测器用于小工作距离条件下二次电子的检测；

u  独有的三透镜大视野观察设计，提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN专有中间透镜（IML）的功能；

u  实时电子束追踪技术，可模拟和进行束斑优化，包括直接和连续控制电子束束斑和束流大小；

u  电子束减速模式在低电压下获取优秀的分辨率(选配)；

u  In-Beam背散射电子探测器用于小工作距离的背散射电子成像；

u  成像速度快；

u  高通量大面积自动化，例如自动颗粒分布和分析；

u  计算机优化、马达驱动的样品台；

u  利于EDX、EBSD分析的理想几何设计；

u  由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室；电子枪的真空度由离子泵来维持；

u  包括电子光学设置和校准的全自动显微镜设置；

u  完善的软件用于SEM控制，图像采集、存档、处理和分析；多用户多语言操作界面；

u  网络操作和内置的远程控制/诊断是TESCAN的标准配置；

u  独特的3维电子束技术用于获得实时立体图像。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途