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Peak Precision Hydrogen Trace 1200 氢气发生器 - 大流量集中供气 用于半导体行业的ICP-MS分析

参考报价: 面议 型号: Precision Hydrogen Trace 1200
品牌: 毕克 产地: 英国
关注度: 930 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质生产商产地类别进口
价格范围10万-30万
制氢原理氢气发生器输出压力100psi/6.9bar
输出流量1200cc/min氢气纯度99.99999% *以氧含量计算(经NPL英国国家物理实验室验证)
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在半导体行业中,每个工艺流程中引入的杂质污染,都有可能造成半导体器件缺陷。


半导体器件的整个制造过程中会用到多种化学品,例如过氧化氢(H2O2)、盐酸(HCl)、硫酸(H2SO4)等,进行清洗和蚀刻。


过氧化氢

作为强氧化剂,可用于清洗硅片、去除光刻

硝酸和氢氟酸混合物
混合物用于蚀刻单晶硅和多晶硅
硫酸与过氧化氢的混合物
可用于晶圆加工过程的清洗
盐酸
用于去除硅片表面的有机和金属残留等杂质

随着半导体器件性能的持续提高,对杂质的控制要求也更加严格,所用化学品中的量的杂质会影响最终产品的性能和产量。国际半导体设备与材料产业协会 (SEMI) 发布了有关高纯试剂性能指标的标准, 规定绝大多数杂质元素的含量不超过 10 ppt



所以,制造半导体器件时,需要对清洗和蚀刻硅片过程中使用的化学品中的痕量污染物进行常规监测,必须尽可能地将痕量污染控制在最低浓度,ICP-MS 就是普遍采用的一种监测工具。



Precision Hydrogen Trace 1200氢气发生器主要为GC载气而设计,也可用做FID和FPD等检测器的燃烧气。一台发生器可同时为多台GC提供气源。

Precision Hydrogen Trace氢气发生器采用质子交换膜技术,电解去离子高纯水制氢气,同时采用变压吸附和分子筛技术有效去除水分,产生超高纯、痕量级的氢气,为使用氢气作GC载气提供安全、可靠、便捷的氢气解决方案。此外,Precision Hydrogen Trace氢气发生器还能为ICP-MS提供碰撞气。

同时Precision Hydrogen Trace 1200氢气发生器具有诸多强大可靠的安全特性和设置,保证了用气无忧,是相比钢瓶更安全、可靠而且方便的供气方案。


特征

氢气发生器适用于痕量分析,提供燃气和载气

产生的氢气纯度高达99.99999%*

氢气发生器带内部检漏功能,一旦发生故障,系统可自动关闭

成熟的PEM技术,可安全、可靠地生产氢气

可再生的PSA干燥技术,最大程度地保证气体纯度

标配自动装载泵

维护简单,仅需更换去离子柱

小巧、节省空间的模块化设计

按需生产氢气,系统内只有极少量的氢气储存

氢气发生器可快速启动和关机

可实现多台串联,满足更高流速需求

可选配氢气泄漏探测器,装于柱温箱内,监测任何可能的泄露

12个月现场质保服务

标配提供最长3年电解池保修

*以氧含量计算(经NPL英国国家物理实验室验证)


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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