电子制造工业中，对烟囱排放的氯化物、氟化物、苯系物等气体监测非常重要，OPSIS 拥有专为电子厂这种环境而设计的连续排放监测系统。为了提高在全世界许多应用场所的可靠性和运转性能，OPSIS可以满足电子芯片制造业多样化的需求。采用DOAS (差分吸收光谱法)的Opsis系统是一条开放式光径，无须接触被监测气体的监测系统，就不会受废气排放过程中的气体、高温和微粒的影响。一套系统可以实时在线地监测用户指定的一系列物质， OPSIS系统具有高准确性、高可靠性和很强的数据采集处理能力。OPSIS同样可以满足过程控制对响应速度的要求。
　　一套OPSIS 系统可以监测多种物质。通常监测的气体，诸如为了符合电子厂的某些特别需求，监测HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……

应用原理：差分吸收光谱法（DOAS）
系统结构：

监测项目：

 

序号	监测项目	分析方法	供应厂商
1	HCL	DOAS	瑞典 OPSIS
2	HF	DOAS	瑞典 OPSIS
3	CL2	DOAS	瑞典 OPSIS
4	苯	DOAS	瑞典 OPSIS
5	甲苯	DOAS	瑞典 OPSIS
6	二甲苯	DOAS	瑞典 OPSIS
7	……

技术特点：

• 无需抽取采样，不改变工况条件，在线实时连续测量
• TÜV，MCERTS 等国际认证
• 烟道光路上平均浓度，代表性强
• 多气体，多光路技术（反应时间快）
• 使用寿命长，维护量小，运营成本低（唯一耗件氙灯）
• 一年只需要校准 1-2 次
• 技术成熟，应用范围广

主要设备：

DOAS 分析仪	DOAS 接收/发射端

 

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环境空气苯系物在线监测系统，可参见“苯系物气体在线监测系统”

电子厂烟气监测系统信息由广州嵘烨生环保产品有限公司（瑞典OPSIS）为您提供，如您想了解更多关于电子厂烟气监测系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途