USHIO投影式全自动光刻设备-投影式光刻机

UX-4系列全自动投影式光刻设备主要运用于大尺寸的LED芯片生产和研发。同时又可以运用于半导体MEMS芯片的新品开发和大批量生产。
 
特点：
*最大限度的提高生产良率。（焦点深度可达±50um）
*光刻板和Wafer非接触，光罩板可以反复利用无需对光罩板进行清洗和更换。
*最大可对应到8英寸芯片的生产，1:1一次性曝光。
*设备利用率可达97%以上
*真正意义上的全自动，光罩板无需人工装载。
*产品生产切换简易。
*焦点深度可达±50um（可有效对芯片应翘曲严重和厚胶工艺）
 
应用：
*LED及半导体MEMS芯片的研发和生产。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途