CIF匀胶旋涂仪

• 匀胶旋涂仪CIF匀胶机转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。匀胶旋涂仪广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。

匀胶旋涂仪产品特点

v 采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶的均一性。

v 5寸全彩触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置），可选配10个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，z多100个阶段。

v 内置水平校准装置，保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。

v 多重安全保护:

» 电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；

» 盖子自锁功能，防止飞片盖弹开伤人；

» 双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，保证实验人员安全。

v 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护，有效降低电机进胶的风险。

v 一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

v 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品方便。

v 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。

v 上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置

v 可选氮气吹干、氮气保护，自动滴胶或简易滴胶装置，提供多的操作便利性。

v 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。

匀胶旋涂仪技术参数

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途