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分析测试百科网 > Diener Electronic > 等离子体表面处理仪 > Diener 等离子表面处理仪 Tetra45

Diener 等离子表面处理仪 Tetra45

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参考报价: 120000 RMB(人民币) 型号: Tetra45
品牌: Diener Electronic 产地: 德国
关注度: 5 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质区域代理产地类别进口
仪器种类等离子体表面处理仪价格范围50万-80万
设备尺寸45L控制方式自动
功率600W工作气体 2路
样品腔材质 铝制样品腔容积 45L
射频频率 13.56MHz
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德国Diener低压等离子清洗机 Tetra45              德国原装进口


特点:

·           单层处理,腔体深度接受定制,Max.1200mm

·           使用PCCE/Full PC软件,拥有更精确的工艺参数控制功能

·           铝制腔体适用于半导体封装工艺

 

应用:

·           各种材料表面有机物与无机物的去除

·           IC/LED封装,BGA/CSP/COB基板处理

·           Wafer去胶和蚀刻

·           印刷基板镀层前处理

·           LED\光学\氟化材料\镜头等处理

·           塑料\橡胶\陶瓷\玻璃表面改性

 

技术参数:

型号

Tetra45   PCCE

Tetra45   FULL PC

控制模式

手动和自动


显示

3.5’’TFT   (7’’ optional)

15’’  

软件

Windows   PCCE Soft

Window   Full PC

真空计

PID控制,数字显示


真空计量程

0~9.99mbar


发生器*1

13.56MHz 0~600W


工艺气路

2pcs   MFC/ O2ArN2He


冲洗气路

1pc


泄气气路

1pc


腔体材质

铝合金


腔体尺寸*2

W572   mm x D650 mm x H125 mm45L


腔体门

铝合金带观察窗


托盘:

旋转托盘 直径 Max.550mm


外形尺寸

W850   mm x D800 mm x H1700 mm


电源

3P,AC400V   16A


真空泵*3

Leybold   D65C


 

注:

*1可以选配发生器2.45GHz   0~850W或者100kHz/0-500W

*2腔体深度接受定制,Max.1200mm

*3可以选配干式真空泵KASHIYAMA NEODRY36E


Diener 等离子表面处理仪 Tetra45信息由上海尔迪仪器科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于Diener 等离子表面处理仪 Tetra45报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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