EFA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)

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参考报价：	面议	型号：	EFA
品牌：	博易	产地：	德国
关注度：	27	信息完整度：
样本：		典型用户：	暂无
供应商性质	总代理	产地类别	进口

仪器种类

EBIC

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产品简介产品推荐相关产品

发布时间：2021年11月

作为德国PE公司中国区域代理，裕隆时代向用户提供基于EBIC电子束感生电流技术和EBAC电子束吸收电流分析技术的EFA电性失效分析系统。

最高分辨率下表征样品连接处的性能

亚微米平面分辨率下揭示电路集成
诊断电路结构和其他长期课题，包括电路污染、金属花斑缺陷（pattering defects），电阻互联板（resistive interconnectors）或者电迁移（electro-migration）
直接辨别电路缺陷到具体某一层和失效的具体位置，迅速改进从而有效提生产品质量

对样品中的开路、有阻值或者短路缺陷进行精准定位

对金属线中由于断裂、腐蚀、电子迁移或者外来颗粒造成的电路阻断进行精准定位
准确识别连接处由于界面污染造成的电阻开路
FIB制样过程中精准定位，为透射电镜做出高质量样品

可在在很薄的绝缘体层中确定缺陷位置

在彻底失效前，直接观测栅极氧化层（GOX）和氧化电容器（COX）中的缺陷，并对其精准定位
亚微米分辨率下，精准定位由静电放电（ESD）和过电应力（EOS）导致的氧化物短路
定位过程中，通过低至nW级的电力损耗，可有效保护样品的原始缺陷特征

1欧姆精度下，可对低至100欧姆电阻结构制图

高空间分辨率下绘制电阻图，受限于扫描电镜的电子束和样品作用体积(interaction volume)
确认电阻和电容中相对标称值的偏离
揭示CMOS的连接、电阻和电容结构中的损坏和失效机理

适用于SEM/FIB的纳米探针样品台

最高达8个纳米探针机器人，用于纳米分辨率下的X，Y，Z轴运动和旋转
可取出的附带原位电器的纳米探针样品台，用于低噪音快速分析
完全的软件集成和软件控制
也适用于光学显微镜

裕隆时代，您明智的选择！

售后服务

裕隆时代拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队，向客户提供完整的实验室解决方案和良好的售后服务。

我们承诺24小时内对客户需求做出反应。

专业勤奋的销售队伍，随时为您提供咨询服务。

经验丰富的专家队伍，为您答疑解惑，拓展您的应用领域，提升客户应用水平。

勤勉敬业的售后团队，向您提供专业及时的售后服务，解决您的后顾之忧。

裕隆时代，愿和您一起携手，共创美好未来！

EFA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)信息由北京裕隆时代科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于EFA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途