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上海昊量光电设备有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | 压电马达线性平移台 |
| 品牌： | 昊量光电 | 产地： | 美国 |
| 关注度： | 448 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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纳米级高速大行程压电马达平移台
AU-XLS系列压电马达线性平移台拥有独特的特点。该平移台是一款兼具大行程和高精度的压电马达位移平台。
该平移台采用无声的超声波马达，超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子，在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动，促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动，每个循环的进给为几个纳米，高频的信号，可以使转子高速的运动。因此AU-XLS系列压电马达平移台的最大速度可达到400mm/s。
理论上压电马达平移台的行程仅取决于转子的长度，因此AU-XLS系列位移平台可提供的行程范围可达94mm，采用线性编码器位置传感器闭环控制，使位移平台的位移分辨率可达到78nm，在满足大行程的同时实现了高的精度。由于压电陶瓷已经加载了预加力，因此断电之后平移台会有自锁功能，使位移平台依然保持在原位。这样可以减少了能源的消耗和产热量，提高了位移平台的精度。
此外，由于该平台采用模块化设计，因此该平移台可以组成多维位移平台，并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。
主要特点：
l 大行程 （92mm）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持断电自锁
l 可在真空和非磁环境
主要应用：
l 光电子学
l 扫描电子显微镜
l 半导体生产
l 医学和材料科学
l 生命科学与生物技术学
l 显微镜和计量学
产品参数：
AU-XLS | |
Minimum travel range | 19 mm |
Maximum travel range: | 92 mm |
Load capacity | < 1kg |
Holding / driving force | ~ 1N |
Min. step size | 500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder] |
Max. speed | 400mm/s |
Min. speed | 1mm/s |
Constant speed | +/- 1% at typical scan speed |
Lifespan | > 100 km (typical) |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
