材料3D实时动态显微镜

lyncee+材料3D实时动态显微镜+DHM™ R2100  

LynceeTec数字全息显微镜DHM 

Digital Holographic Microscopy (DHM) generates, in real-time, high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time. 

仪器简介 

瑞士Lyncee tec公司的材料3D实时动态显微镜DHM R1000 “DHM（Digital Holographic Microscopy）主要应用是在MEMS研发中用于测量工作，以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比，在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm，水平方向为200nm～300nm（取决于物镜）。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm，可以15帧/秒的速度进行测量。因此，25px见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时，同等范围的观察则需要几个小时～10小时。此外产品最大可将观察速度扩展至1万帧/秒。由于摄影速度快，因此不需减震台，可用来检测流水线上的产品。 

照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机，作为数字数据保存下来，由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“Koala Software”。 

主要特点:           

            ·非接触式3D成像 

            ·可进行相位测量

            ·自动相干补偿

            ·高分辨、实时测量 

技术规格   

系统

·测量技术：         单波长透射式数字全息显微镜

·成像类型：         强度及定量相差 (DHM模式)

·光 源：             单波长激光

·样品台：           手动或自动XYZ平台, 行程200mm××100mm×15mm

·相 机：            1392×1040像素, 8bits

·有效物镜：       标准显微物镜, 长工作距离物镜, 油镜或水镜 

性能

·纵向分辨率：     10nm

·垂直测量范围：  可达340nm (取决于样品)

·横向分辨率：     300nm (1.4NA)

·视场范围：        4.4mm

·工作距离：        0.3~18mm

·数字聚焦范围：  达到50倍场深

·抓图时间：         小于1us

·空间采样：         1024×1024像素

·采样速率：         15fps (1024×1024像素)

·单波长重建速率：15fps (512×512像素), 4fs(1024×1024像素)

·样品照明：         小于1uW/cm2

·最大样品尺寸：   200mm×200mm 

电源要求

·输入电压：        85-260VAC, 50/60Hz

·功率：              480W 

重量&尺寸

·显微镜部分：     500×500×500mm&34.5kg 

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途