2850412321
400-6699-117转1000
咨询列表
凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
您好，欢迎您查看分析测试百科网，请问有什么帮助您的？
分析测试百科网 认证会员，请放心拨打！
诚信认证:
工商注册信息已核实！
扫一扫即可访问手机版展台
| 参考报价： | 面议 | 型号： | RTP-6 |
| 品牌： | ADVANCE RIKO | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 17 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
400-6699-117转1000
RTP-6快速退火炉配备了抛物面反射器和红外灯加热系统，可以均匀加热尺寸达6英寸的晶圆。其具备高速热处理的能力，可用于热处理工艺的研究和开发。 在个别半导体工艺和化合物半导体的过程退火中可以形成硅化物。
应用:
用于半导体的各种晶片的高速热处理。
特性：
1.对尺寸达6英寸的晶圆进行高速热处理
2.采用水冷冷壁结构，无重金属污染，可高速冷却
3.真空更换后可提供各种气流；
4.通过您的电脑，您可以轻松输入温度程序和外部信号。 在加热过程中获取的温度数据可以显示在PC上。
5. 9区功率控制可实现良好的温度分布和可重复性。
6.石英室保护罩可用于防止室内污染（可选）。
型号 | RTP-6 |
温度范围 | RT to 1000 °C |
样品尺寸 | 4-6英寸圆晶 |
气氛 | 各种气氛，气流，空气氛围，真空； |
加热方式 | 上层抛物面红外加热系统或下层抛物面加热系统 |
最大升温速率 | 80℃/s |
均热精度 | Δt＝10℃ (晶圆在800℃氮气流下) |
热电偶 | JIS-K型热电偶, 高温计（可选） |
外形尺寸 | 约 W600 x D1000 x H1700 (mm) 不包含突出部分 |
重量 | 约300kg |
供电要求 | 三相电，AC 200V，30kVA |
水冷要求 | 压力≥0.3Mpa ，流速≥15L/min |
真空排气口 | KF-25 |
通气口 | 进气口:1/4 英寸套管接头 |
热空气排气口 | 约φ50mm孔 |
Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6信息由凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
