高分辨场热发射台式扫描电子显微镜 Sigma 300可用于皮革,纳米材料,高分子材料,生物质材料,电池/锂电池

在实际使用三离子束EM TIC 3X技术获取样品无应力平整断面时，粉末样品的剖面是常常会遇到的，根据离子束设备对样品的要求，完全可实现粉末样品的加工，如金属及氧化物粉体材料，无机粉体材料，高分子粉体材料以及复合粉体材料等，只需将适量粉体材料包埋为块体即可。通常为片状。

在包埋粉体类样品时，通常有三种方法，树脂包埋法，导电碳胶包埋法，刮片法，在此处介绍前两种方式，此二种方式简单易操作，且切出面积大，不仅可以用于扫描电镜，原子力显微镜等形貌分析，也可做能谱定性定量分析，EBSD的晶粒取向等分析。

树脂法制备样品颗粒平整度更高，颗粒间无间隙，装取样品方便，不用担心碎掉，做分析时平整度高，稳定度高，但不适合多孔材料，导电差，需要镀金才可观察，且若想看到通道效应（如锂电池正极材料），则高真空镀膜效果更佳。此时若与徕卡高真空镀膜仪EM ACE600匹配则最合适，另外，树脂包埋时难以做到样品粘接面与样品托平行，但徕卡三离子束EM TIC 3X有多功能样品台，可调整样品薄厚倾斜及上下倾斜。

粉体类材料除了准备工作方面需要多加注意以外，在电镜观察时也需要多加细心，和所有离子束切割完的平整面一样，大多采用场发射扫描电镜观察，且对大多数样品，以低电压和背散射效果最佳。详细可参考视频讲解。

高分辨场热发射扫描电子显微镜 Sigma 300

产品规格

场发射扫描电子显微镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，以及可以通过配备EDS能谱仪进行材料元素的成分分析。

性能与优点

电子光学系统

分辨率： ≤1.0nm@15KV（非样品台减速模式下采用d25-75的边缘尺度测试法）；

放大倍率：10-1,000,000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换；

电子枪：肖特基热场发射电子枪；

加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调；连续可调；最低加速电压20V（非样品台减速模式）

探针电流：最大电流不小于20nA

电子光路具备色差校正设计，在低电压下高分辨观察性能，能够直接观察不导电样品；

镜筒内具有8KV加减速电压设计，能够保证样品室内无漏磁，可对铁磁性和易磁性材料进行2mm内短距离高分辨成像；

束流稳定性: 优于0.2%/h, 抗噪声性能优于1%/h；

图像存储分辨率：32K*24K

样品室

抽屉式拉门；样品室内宽度或者内部直径不小于350mm；

可容纳最大样品尺寸不小于200mm

配置五轴优中心马达驱动样品台，移动*大范围指标：X≥125 mm，Y≥125 mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围≥70°，旋转≥360°（连续旋转）；

配置马达台快捷控制器、配置多功能旋钮操作控制面板或多功能键盘；

配置单样品座，具备导航功能的多样品座；

预留能谱仪、背散射电子衍射等常用附件接口和软件通讯接口；

*大可载样品重量500g；

样品触碰极靴告警；

探测器

样品室内独立的多象限背散射电子探测器；

样品室内二次电子探测器；

安装在镜筒内正光轴上超高分辨In-Lens二次电子探测器；

样品室内彩色CCD相机；

在两个显示屏上，能够同时分别获得二次电子像和背散射电子图像。

真空系统

无油磁悬浮涡轮分子泵，250升每秒；离子泵，维持发射区域超高真空；

前级无油机械泵，10立方米每小时；

样品室真空度：高真空模式优于2×10^-4 Pa，电子枪真空度：10^-7Pa数量级；

全自动真空系统，完全气动阀自动控制；

数字图像记录系统（全进口）

图像显示配置主流品牌液晶显示器，尺寸不小于24寸；

图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG；

基于网络架构的数据传输系统；

Windows 10操作系统；

可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途