【应用报告】国仪量子扫描电镜在陶瓷电容器（MLCC）中的应用

陶瓷电容器作为一种基础被动元器件，是现代电子工业中不可或缺的一员。其中，片式多层陶瓷电容器（MLCC）因其耐高温、耐高压、体积小、电容量范围宽等特点，占据了超过九成的陶瓷电容器市场，广泛应用于消费电子行业，包括家电、通讯、汽车电子、新能源、工控等应用领域。

使用国仪量子扫描电镜可以辅助完成对MLCC的失效分析，通过微观形貌找到失效起源，优化生产工艺，实现产品的高可靠性目标。

MLCC由内电极、陶瓷介质和端电极三部分组成，如下图所示。

随着下游电子产品市场需求的不断更新，MLCC产品的技术发展趋势也转变为“五高一小”。即高容量化、高频化、耐高温、耐高压、高可靠性以及小型化。小型化意味着需要使用更小尺寸、更均匀的陶瓷粉体，材料的微观组织结构决定了最终性能，使用扫描电子显微镜表征陶瓷粉体的显微结构，包括颗粒形貌、粒度均匀性和晶粒尺寸，可以帮助制备工艺的不断提升。

描电镜下不同类型的钛酸钡陶瓷粉末/25kV/ETD

扫描电镜下不同类型的钛酸钡陶瓷粉末/1kV/Inlens

高可靠性意味着需要对失效机理有更深刻的认识，因此进行失效分析是不可或缺的。而MLCC失效的根本原因是其外部或内部存在如开裂、孔洞、分层等各种微观缺陷。这些缺陷会直接影响到MLCC产品的电性能和可靠性，给产品质量带来严重的隐患。使用扫描电镜可以辅助完成对电容产品的失效分析，通过微观形貌找到失效起源，优化生产工艺，最终实现产品的高可靠性目标。

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