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国仪量子技术（合肥）股份有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | HEM6000 |
| 品牌： | 国仪量子 | 产地： | 安徽 |
| 关注度： | 197 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 产品类型 | 落地式/传统大型 | 价格范围 | 500万-700万 |
| 电子枪类型 | 热场发射 |
| 二次电子图象分辨率 | 1.3nm @ 3 kV；2.2 nm @ 1 kV | 放大倍数 | 66 x ～ 1,000,000 x |
| 样品台 | X、Y轴：110mm；Z轴：28mm | 探测器 | 高速直接电子探测器，镜筒内混合电子探测器，低角度背散射电子探测器，高角度背散射电子探测器 |
| 背散射电子图像分辨率 | 1.9nm @ 3 kV；3.3 nm @ 1 kV | 加速电压 | 100 V～6 kV(减速模式) ； 6 kV～30 kV(非减速模式) |
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发布时间：2023年08月
高速扫描电子显微镜
HEM6000
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
性能特点
图像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速电压：100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)
分辨率：1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE
视场大小：最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场32*32 um²
样品台精度：重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
高速扫描驱动器 电子过滤系统
驻点时间10 ns/pixel， SE/BSE信号自由切换，
最快采集速度2*100 M pixel/s MIX成像信号比例可调
全静电高速偏转系统 样品台减速技术
可实现高分辨大场模式， 降低入射电子落点电压，
4 nm像素点最大视场达32*32 um² 同时提高回收电子的收集效率
浸没式电磁复合物镜
物镜磁场浸没样品
实现了低像差高分辨率
产品优势
01 高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
02 大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
03 低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
应用领域
半导体工业
生命科学
材料科学
地质科学
应用案例
芯片（金属层）/ 116x / BSE / 120 ns
芯片（器件层） / 2000x / BSE / 40 ns
芯片（金属层）/ 1200x / BSE / 120 ns
芯片（器件层） / 1200x / BSE / 120 ns
生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 116x / BSE / 120 ns
| 指标 | HEM6000 | 常规场发射扫描电镜 |
| 像素尺寸(单张) | 8192*8192 | |
| 像素点时间 | 120 ns（点/行/帧平均数：6/2/1） | 800 ns |
| 像素大小 | 16 nm | |
| 拍摄总面积 | 2 mm² | |
拍摄总时间 | 25分32秒 | >140分 |
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE； | |
| 2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE； | |||
| 加速电压 | 100 V~6 kV(减速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非减速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | ||
| 物镜类型 | 浸没式电磁复合物镜 | ||
| 样品装载系统 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 | |
| 样品监控 | 样品仓监控水平摄像头 ； 换样仓监控垂直摄像头 | ||
| 样品最大尺寸 | 直径4英寸 | ||
| 样品台 | 类型 | 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） | |
| 行程 | X、Y轴：110mm； Z轴：28mm； | ||
| 重复定位精度 | X轴：±0.6μm； Y轴：±0.3μm； | ||
| 换样方式 | 全自动控制 | ||
| 换样时间 | ＜15 min | ||
| 换样仓清洗 | 全自动控制等离子清洗系统 | ||
| 图像采集与处理 | 驻点时间 | 10 ns/pixel | |
| 图像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 图像大小 | 8K*8K | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内混合电子探测器 | |
| 选配 | 低角度背散射电子探测器 | ||
| 镜筒内高角度背散射电子探测器 | |||
| 压电驱动样品台 | |||
| 高分辨大场模式 | |||
| 样品仓等离子清洗系统 | |||
| 6英寸样品装载系统 | |||
| 主动减震台 | |||
| AI降噪；大图拼接；三维重构 | |||
| 软件 | 语言 | 中文 | |
| 操作系统 | Windows | ||
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | ||
| 自动功能 | 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | ||
服务
扫描电子显微镜实验室
我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。
国产高速扫描电子显微镜 HEM6000信息由国仪量子技术（合肥）股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于国产高速扫描电子显微镜 HEM6000报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
