美国四探针电阻率测试仪

美国4D公司的四探针/方块电阻/电阻率测试设备：280SI （最普及型号）

· 测量尺寸：晶圆尺寸：2-8寸（333系列可测量大至12寸晶圆，1100系列可测量大至2160mmX2400mm平板系列）

方形片：大至156mm X 156mm；

· 测量范围： 0.001欧姆/平方 至 800000欧姆/平方（标准型）；

可往下扩展至：0.0001欧姆/平方，往上扩展至8e9或8e11欧姆/平方。相对应的电阻率，薄膜厚度根据不同材料不同应用而不同，但都是以方块电阻作为基础设备自动计算得出，注意这是选项价格要高不少，建议客户按实际需求选择购买。

· 测量方式： 电脑程序自动测量，或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示，此时非常适合测试不规整样片单点测量，适合实际研究需要。

· 测量的数据： 方块电阻/电阻率/薄膜厚度，根据具体应用可以设置不同测量程序。

· 测量的点数： 程序编排任意测量点位置及测量点数量，对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。

· 测量的精确度：<0.1% （标准模阻）；

· 测量重复性：<0.2% （特定片子）；

· 测量速度：>45点/分钟；

· 测量数据处理：根据需要显示2D,3D数值图，或按要求统计并输出Excel格式文件；

· 边缘修正：具有边缘修正功能，即片子边缘3mm以内区域都能测量；

· 探针材料：钨钢与硅片的接触电阻最小，且耐磨。另外每跟针的轴套采用非常耐磨蓝宝石材料，以确保长时间使用后间距的一致性；

· 探针压力可调范围：90-200克之间可调；

· 可供选择的探头类型：根据测试不同工艺要求有A, B,K, M, N等相关型号探头选择，另外还可提供专门为客户定制的应用特殊要求的探针，比如测试薄至30A的薄膜时需要使用MR型探头，这是四探针设备供应商少有能做到的。

· 设备应用：

     IC FAB/FP dispaly/LED：扩散，离子注入等掺杂工艺监控调试，薄膜电阻率或厚度测量等工序，如Intel，IBM，Motorola，TSMC，CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...

     材料类研究：杜邦（中国），电力科学院，中科院，山东科学院，清华大学，北京大学，复旦大学，华师大，电子科大，国家标准化所，质检所，光伏科学与技术国家重点实验室,Applied Materials, Materials Research...
     新能源：尚德，晶澳，英利，阿特斯，天合，LDK，海润，腾晖，鑫辉，东磁，向日葵，奥特斯维，尖山，晶科，力诺，韩华，神舟，光为，艾力克，吉阳，东营，中盛，First solar,Solar world...

· 客户群广：国内已经卖出近300台之多，全世界累计各种型号四探针设备近千台。

· 使用成本

4D公司所提供的探针质保次数是25万次，而实际从客户反馈的信息是寿命达到100万次以上，甚至150万次以上。同时4D还为客户提供探头的探针更换服务，大大降低客户的使用成本。 

· 市场占有率高

 国内行业内有几百台的占有率，公司品牌4D已经成为四探针的代名词； 
根据应用不同工艺要求对应的探针类型详细说明：


测量数据电脑图（2D/3D）


各类型四探针设备说明：

根据客户不同使用要求有更多选择
* 使用液体金属汞探针替代传统硬探针的四探针设备，如：M4PP 3093;
* 针对III IV族化合物材料，应用“dynamic AC waveform”克服测量的接触电阻问题，该型号为：680I；
* 根据不同应用要求，可增加的功能有：温度控制/补偿，边缘修正，样品台定制，自动化要求定制，探头自动切换，通讯接口扩展，测量范围扩展等。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途