设备简介

Nano analytik公司成立于2010年4月，技术源自德国伊尔梅瑙科技大学，公司的核心竞争力在于传感器、微系统和控制技术，公司宗旨是让纳米分析技术简单化，在保证科研严谨性的同时提高科研效率。

Nano analytik研发了一款基于新型扫描探针显微镜针尖的离子注入系统。该系统利用探针悬臂上紧邻针尖的小孔（小于 50nm）并结合扫描探针的精确定位，完成具有高度空间分辨率的单离子注入。应用此项技术可以制备纳米尺度的功能器件，例如可用于量子计算机的单电子晶体管。

单离子注入(SII)

技术特点：

• 精确定位定量离子注入

• 针尖悬臂上的小孔小于50nm

• 锥形电场稀释和准直离子束

• 横向电场形成离子闸门

应用领域：

• 功能材料定位掺杂

• 纳米尺度器件制备

• 固态量子计算机

工作原理示意图（纳米漏斗）

氮离子注入金刚石色心

场效应器件验证离子注入

扫描探针悬臂梁，扫描针尖及紧邻的小孔（50nm）

区域定位单离子注入 V.S. 随机掺杂

1.8nm单电子晶体管
2017年4月 欧盟科研项目
室温量子效应（库伦阻塞）

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途