Park systems帕克原子力显微镜NX10

2  核心参数：

l  仪器种类：原子力显微镜

l  样品台移动范围：20mm*20mm

l  样品尺寸：直径≤50mm, 厚度≤20mm

l  定位检测噪声：X-Y≤0.25nm, Z≤0.03nm

l  产地类别：进口仪器

2  准确成像, 无交叉耦合现象

l  业界领先的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动

l  最低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米

l  垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%

l  优化的水平扫描器ringing现象, 科学的正向sine-scan算法

2  准确扫描，真正的非接触模式

l  业界领先的垂直扫描器，带宽超过9kHz，探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec

l  在非接触模式下最快的扫描速度

l  极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描

l  极低的样品损伤

2  准确测量，真正的样品形貌

l  采用业界领先的低噪声迟滞检测器测量样品形貌

l  业界领先的极小正反测量偏离量，小于0.15%

l  采用优化的散热部件，极大地降低了系统热漂移和迟滞现象

l  功能强大的先进隔音罩，舱体内部主动控温用户工作效率

l  开放式的设计，方便更换探针和样品

l  探针预定位装夹设计，简单便捷的测量激光调节过程，具有专利的自上至下的直观观察系统

l  创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作

l  24位数字电控箱，三组内置锁存放大器，具备Q-control和弹性常数校准功能

2  技术参数

XY扫描器

l  闭环控制式单模块柔性XY扫描器

l  扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)

l  分辨率: 0.05 nm

l  定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)

l  水平线性: < 2nm (over 40 μm scan)

Z扫描器

l  柔性引导高力度扫描器

l  扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)

l  分辨率: 0.015 nm

l  定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)

l  共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

l  表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光学系统

l  可观察样品和探针的直视同轴光学系统

l  视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)

l  CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物镜

l  10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)

l  20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm分辨率)

信号处理

l  ADC: 18个通道
         4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)
         X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs

l  DAC: 12 信道
         2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS)
         X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs

l  最大数据大小: 4096 x 4096 像素

集成功能

l  3个通道数字锁相放大器

l  热噪声法标定弹性系数

l  数码Q控制

外部信号介入

l  20个嵌入式信号输入/输出端口

l  5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途