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诚信认证:
工商注册信息已核实!参考报价: | 面议 | 型号: | ME-210(-T) |
品牌: | PHOTONIC LATTICE | 产地: | 日本 |
关注度: | 28 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
价格范围 | 80万-100万 |
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以往的椭偏仪是单点测试,因此要取得整面膜厚均匀性数据是需要N个小时的工作,而且最小的测量分辨率就是激光光斑大小,也就是说,无法取得微小区域的膜厚分布数据。
ME-210是采用独自开发的微小偏光阵列片来克服上述两大问题的设备。
ME-210能做的就是:
能以快速取得最大12inch基板上的膜厚分布
能以高分辨率取得微小区域的膜厚分布(设备最高分辨率为5.5um*5.5um)
设备软件具有模拟功能,因此能比对模拟值与实际值来评估成膜工艺
透明基板的膜厚测量
技术参数:
光源--typ,636nm,Class2
设备最高分辨率--5.5*5.5um
入射角--70°
测量再现性--膜厚0.1nm、折射率0.001
设备最块测量速度--5,000个点/min
载物台--标准φ8inch、选配φ12inch
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途