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浚和(上海)仪器有限公司
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| 参考报价： | 1100000 RMB（人民币） | 型号： | V1000 |
| 品牌： | 雅马拓 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 29 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 一般经销商 | 产地类别 | 进口 |
| 仪器种类 | 等离子体清洗器 | 价格范围 | 100万-150万 |
| 设备尺寸 | W700×D800×H1600mm | 控制方式 | 全自动控制，5.7寸液晶触摸屏 |
| 功率 | 0-1000W | 工作气体 | 双路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体 |
| 样品腔材质 | 铝制腔体 | 样品腔容积 | 约61.4L |
| 射频频率 | 射频RF13.56Mhz |
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高频等离子表面处理装置
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工艺.
● 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。
■ 安全性·保护
● 标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关：门在未完全关闭时无法启动电源。
● 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
● 紧急停止按键（EMO）标准配备。
● 当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
■ 技术规格
型号 | V1000 | |
方式 | DP&RIE双模标准装备 | |
性能 | 发生器功率： | 0-1000W |
发生器频率： | 射频RF13.56Mhz | |
发生器匹配方式： | 自动匹配（Auto matching) | |
构成 | 腔体材质： | 铝制腔体 |
腔体内尺寸： | 400×400×384mm 约61.4L | |
电极尺寸： | 300mm×300mm | |
反应气体： | 双路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体 | |
填充气体： | 一路氮气 | |
控制方式： | 全自动控制，5.7寸液晶触摸屏 | |
真空度显示： | 测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空度 | |
配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门： | 铰链门 | |
涂装颜色： | 标准色，白系 | |
外形尺寸： | W700×D800×H1600mm （高度含警报灯） | |
真空泵： | 无油干式真空泵 抽速100m3/hour，吸气口NW40,排气口NW25 | |
电源规格： | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量： | 约215kg | |
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套 |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
