NX20 高精度全自动大面积原子力显微镜

用于缺陷分析和大型样品研究的领先纳米计量工具

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款全球最精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

概述

最强大全面的分析功能

Park NX20具备独一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。。

即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作

ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

技术特点

为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案

样品侧壁三维结构测量

NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。

对样品和基片进行表面光洁度测量

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的失效分析和质量保证。

高分辨率电子扫描模式

QuickStep SCM

最快的扫描式电容显微镜

PinPoint AFM

无摩擦导电原子力显微镜

多种独有的专利技术帮助顾客减少测试时间

CrN样品所做的针尖磨损实验

最佳AFM测量

低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌

没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌

超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。

• 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。

• 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。

• 没有前沿或后沿过冲现象

• 终身无需校准，减少设备维护成本

Park NX系列原子力显微镜

传统的原子力显微镜

Park NX20特点

低噪声XYZ位置传感器

行业领先的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

自动多点扫描

 借助驱动样品台，步进扫描可编程步进扫描,多区域成像，以下是它的工作流程：

• 扫描成像

• 抬起悬臂

• 移动驱动平台到设定位置

• 进针

• 重复扫描

该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。

滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD，显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线。

高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽

只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计，其生产线设备兼容性得到大大提高

高速24位数字控制器

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字，24位高速控制器，可确保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器也是纳米成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是高级研究员的最佳选择。

XY和Z轴检测器的24位信号分辨率

• XY轴（50 μm）的分辨率为0.003nm

• Z轴（15 μm ）的分辨率为0.001 μm

嵌入式数字信号处理功能

• 三通道数码锁相放大器

• 弹簧系数校准（热方法）

• 数据Q控制

集成式信号端口

• 专用可编程信号输入/输出端口

• 7个输入端口和3个输出端口

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途