立体开启式加热炉

用途：

适用于CVD工艺或其他热处理工艺；如ZNO纳米结构可控生长、氮化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等

特点：

★采用高级耐火纤维材料，隔热好、升温快、蓄热少、节能，炉体表面温度≤60℃

★取放物料方便快捷，只需一支卡箍便可完成密封，简化法兰安装过程，减少了炉管因安装造成损坏的可能

★微电脑控制，可编制升温曲线，自动升温、保温、降温与控制升温速率。具有P.I.D调节自整定、自学习功能

★配置超温、传感器故障等多种逻辑保护功能，安全可靠

★可根据客户需求升级配置计算机监控系统，实现100%仪表功能操作，并以曲线及数据表格形式记录存储实时温度曲线、历史温度曲线及报警记录参数

★炉体开启式结构，炉膛可向后翻转110度，易于取放工作管

★易磨损部位采用硬化技术处理，使炉材经久耐用

★炉管两端装配不锈钢双环密封法兰，保障炉管的气密性、保证真空以及气氛环境

★炉管卡箍式法兰接口，安装、取放物料方便快捷，安全、密封

★可选择真空或气氛保护等试验环境

技术参数：

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途