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技术规格：
1. 支持最大晶圆尺寸：300mm
2. X-Y轴移动重复性：+/-1.5mm
3. X-Y轴移动分辨率：5 mm
4. X-Y轴移动速率：50mm/s
5. Z轴移动重复性：+/-1mm，移动分辨率：1mm
6. Z轴移动速率：10mm/s
7. 显微镜分辨率：4mm
8. 可测试温度：RT~200℃
9. 迈锐软件，全自动控制平台移动。
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EPS-300手动探针台
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