低成本高效益的光谱椭偏仪SENpro

SENpro椭偏仪是椭偏仪应用的智能解决方案。它具有角度计，入射角度步进值5°。操作简单，快速测量和直观的数据分析相结合，以低成本效益高的设计来测量单层和多层膜的厚度和光学常数。

成本效益

SENpro是具成本效益的光谱椭偏仪，同时不影响先进测量性能。

可变入射角

光谱椭偏仪SENpro包括可变入射角的角度计，40°—90°，步进值5°，用于优化椭偏测量。

步进扫描分析器

SENpro具有独特的步进扫描分析器。在数据采集过程中，偏振器和补偿器固定，以提供高的椭偏测量精度。

光谱椭偏仪SENpro具有操作简单，测量速度快，能对不同入射角的椭偏测量数据进行组合分析等特点。光谱范围为370到1050 nm。SENpro的光谱范围与精密的SpectraRay/4软件相结合，可以轻易地确定单层膜和复合层叠膜的厚度和折射率。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可见光到近红外椭偏仪光学，5°步进角度计，样品台、激光准直器、光纤耦合稳定光源和探测器单元。SENpro配备了用于系统控制和数据分析的光谱椭偏仪软件SpectraRay/4 ，用于包括建模，拟合和报告输出。即使对于初学者，该程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持计算机控制的用于均匀性测量的自动扫描。

SENpro专注于薄膜测量的速度和精度，不管是何种薄膜应用。测量范围从1 nm的极薄层膜到15 μm的厚层膜。

对于各种各样的应用，SpectraRay/4都提供了预定义的配方。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途