XY扫描器

闭环控制式单模块柔性XY扫描器。

扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)

分辨率: 0.05 nm

定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)

水平线性: < ２nm (over 40 μm scan)

Z扫描器

柔性引导高力度扫描器

扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)

分辨率: 0.015 nm

定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)

共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光学系统

可观察样品和探针的直视同轴光学系统

视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)

CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物镜

10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)

　20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)

信号处理

ADC: 18个通道

4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)

X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs

DAC: 12 信道

2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS)

X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs

最大数据大小: 4096 x 4096 像素

集成功能

3个通道数字锁相放大器

热噪声法标定弹性系数

数码Q控制

外部信号介入

20个嵌入式信号输入/输出端口

5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias

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