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德国韦氏纳米系统German First-Nano System
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | Tergeo |
| 品牌： | PIE Scientific | 产地： | 美国 |
| 关注度： | 49 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 一般经销商 | 产地类别 | 进口 |
| 价格范围 | 5万-10万 |
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Tergeo等离子清洗机
特 征: ● 模式：直接浸泡式等离子清洗可以高速刻蚀和表面改性； 远程等离子体可以轻微的清除表面污染，如SEM/TEM样 品清洗 ● 操作：自动配方执行；自动作业顺序执行；亦手动控制 ● 等离子传感器：双等离子强度传感器（专利申请中）实时监测 等离子源和远程等离子源且等离子强度实时显示LCD触摸屏上 ● 先进工艺控制：压力传感器、温度传感器、MFC气体流量计、双等离子强度传感器、自动阻抗匹配 ● 腔体材料：铝法兰，石英腔体 ● 石英腔体尺寸：内径：110mm；深280mm ● 样品架：2mm厚高纯度石英板 ● 射频天线：外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 在等离子清洗机中发现的金属溅射问题 ● 射频功率：13.56mhz射频电源，自动阻抗匹配 射频功率有两种选择：0-75watt和0-150watt ● 工艺气路：高达三个MFC气路 ● 用户界面：7寸电阻式触摸屏 ● 软件：总共20个可定制的配方。每个工艺多达三个步骤 |
| Direct & downstream 清洗模式 | ||
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引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解封
光刻胶灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/载玻片/芯片实验
去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物
改善金属与金属或复合材料的结合
改善塑料、聚合物和复合材料的粘接
PDMS/玻璃键合的应用笔记
Recipe ：
PDMS bonding: RF power 15Watt
RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air
Flow rate: 5sccm
Time: 30~60 seconds
Figure 1 经过等离子体处理后，PDMS立即与玻璃结合，界面截留的气体被自动挤出，无需在烤箱里固化PDMS/玻璃胶几个小时。
Figure 2，粘合一分钟后，用户试图测试PDMS/玻璃粘合度，由于粘合非常牢固，即使由于强大的拉力部分PDMS被撕掉之后，PDMS/玻璃粘合界面仍然完好无损。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
